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那台名为ZL400的浸没式DUV光刻机,采用了193纳米ArF光源,这可是比荷兰ASML公司正在研发的XT1900i,更早实现了量产45纳米制程芯片啊。
而最牛X的是,真理科技竟然同时研发出生产5纳米以下芯片的EUV光刻机,虽然目前光源曝光率还比较低,但这可是世界独创!
惊叹过后,专家都在围着真理科技的研究员们,询问相关的技术问题,也有不少人在测试机上查看产出芯片的参数。
而来自某光学研究所的李工,却拉着刘彬走到一旁,询问EUV光刻机中的紫外线是靠什么产生的。
刘彬笑道:“李工,我们林总亲自设计了一款激光放大器,将较弱的激光脉冲提升至一万次,最终输出的平均脉冲功率稳定在25千瓦,这才基本满足了光刻所需的极紫外线,后续我们的目标是40千瓦。”
李工点点头道:“这已经很不容易了,那你们的发射器的光学组件也是自已制造的吗?”
“是的,从OLED屏幕真空蒸镀机延伸出的镀膜技术。”刘彬想到林畅的嘱咐,回答的很干脆。
参观完实验室后,众人来到工厂一处办公楼的会议室。
赵主任和平原省一把手王石故意坐在最后面一排,把前面位置让给专家团们。
“石港同志,我得先道个歉,之前否了你们省里申请的扶持政策,是我先入为主了。”
听到部委赵主任的诚恳话语,王石冈忙笑道:“这怎么能怪你呢,没有技术专家确认前,我们所有人也是不敢信的。”
赵主任点点头,看着前面真理科技的主要研究人员都在忙着回答专家们的提问。
他叹了口气道:“真是没想到,真理科技能创造这么多奇迹,部委之前的重视还不够啊!”
会议室内已经开成了学术发布会,刘彬,许安易以及多位研究人员配合着,把芯片研究方面的技术细节讲的很透彻。
过了半个多小时后。
不远处的办公室内。
赵主任,王石冈,和林畅进行了私下交谈。
林畅感谢完赵主任二人的赞扬后,笑着说道:
“赵主任,刚才您提出的一系列扶持政策,以及补贴资金,已经让我们受宠若惊了!关于您询问一些加工技术或设备,能否支援国防建设....”
赵主任听到这里,摆手打断了林畅的话,他笑着摇头道:“刚我所说的可不是支援的意思,部委肯定会给你们相应补偿的,只是你们有些技术对于国家太重要了,其实也并不好完全市场化运作,小林,你能理解吗?”
林畅说道:“我理解您的意思,作为夏国一份子我还是懂的轻重的,只是....”
“你有什么顾虑或者要求可以提,技术所有权终究是你们自已的,部委或涉密项目采用了也一定会给与相应补偿或回报的!”
林畅闻言,脸上露出了笑容,“领导,我有个想法,真理科技可以再设立一家子公司,技术呢,通过这家公司授权给需要的单位,而我只希望,这家子公司可以获得国防领域相关的资质。”
“你们还想朝军工这条路走?”赵主任有些惊讶。
“在电子信息领域,现在已经涉及了不少了呀,跟您来的那位李工,想必是研究激光武器类的专家吧,我个人其实对武器、机器人、航天等,都有着很大兴趣。”
见林畅说完后盯着自已看,赵主任笑了起来。
“很多人都说真理科技的研究团队人均学历不高,但公司舍得花钱实验,才能产出这么多成果,其实大家都忽略了最关键的部分,那就是小林你啊。”
“你不用忙着谦虚,从刘彬等研究人员看你的眼神中,我就知道,哪里是靠钱就能让他们对你如此崇拜啊!”
赵主任打趣完,正色道:“小林,你既然愿意用这样的方式和部委合作,那我可以同意,不过这家公司,部委或者其他主体,得在其中占一定比例的股份,但不会参与管理,这条件你能接受吗”
林畅稍一迟疑后,马上点头,“我同意!”
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